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納米壓印與光刻技術(shù)互補(bǔ) 站在世界水平
佳能從2004年開始就探索納米壓印技術(shù)，在2017年推出首臺樣機(jī)。目前這個(gè)樣機(jī)可以實(shí)現(xiàn)最小線寬14納米的圖案化，相當(dāng)于當(dāng)下生產(chǎn)最先進(jìn)的邏輯半
2023-11-27 15:01:36
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